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회로 기판에 박막을 코팅하기 위해 에칭과 증착을 연속 수행하는 건식 공정 장비
반도체 패키징용 유리 기판에 미세 홀을 정밀하게 가공하는 레이저 시스템 베셀 광학계를 사용하여 균일하고 긴 초점 영역을 형성하여 가공
확산필름, 편광필름, 프리즘 필름, Tape 등 Coating Unit 설계 및 제작
확산필름, 편광필름, 프리즘 필름, Tape 등 고온 Heating Laminating 기술
초박막 필름의 Wave Cutting 기술 정밀 Tension Control 기술 Film 검사 및 Cutting 기술 초고속 Slitting 기..
STRETCHING MACHINE - AMS TYPE ITO FILM SCRIBING M/C - ALP TYPE FINAL SIZER M/C
3D Printing System은 가상의 3D 데이터로 디자인된 제품을 Metal Powder를 적층하여 물리적인 모델로 제품을 제작하는 장비이며, ..
SSC Series는 태양전지 제조용 Cluster Type Sputter로서 대면적 기판에 산화물, Metal Precursor, TCO Layer 등..
SSI Series는 태양전지 제조용 Inline Type Sputter로서 대면적 기판에 산화물, Metal Precursor, TCO Layer 등을..
본 장비는 Sputtering으로 증착된 CIG Precursor를 고온 환경에서 Sulfur와 Selenium을 공급하여 결정질 CIGSSe 광흡수층으..
AEON™ Atomic layer deposition (ALD) system은 조밀하고 균일한 아연산황화물 아연 (산소, 황) 버퍼 층을 증착하기 위한 ..
SuVAS™ H-Series는 Back Electrode, CIG Precursor 그리고 TCO (Transparent Conductive Oxide)..
Carrier에 기판을 결합/분리하고 공정을 위해 증착 장비에 투입/배출 하는 반송시스템
OLED 패널의 결함과 수명을 단축시키는 잔류용매 또는 수증기와 같은 불순물을 제거하기 위한 사전 증발 공정용 진공 오븐 시스템.
LPA – 4700은 Roller를 이용해 세척된 LCD 패널에서 Polarizer를 부착하는 데 사용 이 장비는 Vision aligner와 Pola..
STK-1500은 디스플레이 제조 전/후 공정의 Glass 및 Panel을 Cassette단위로 이송하는 장치로써, Stocker System에 보관/적..
LST Series는 Thin Film Transistor 제조용으로 대면적 기판에 산화물 및 금속물질을 진공 상태에서 증착하는 장비
OEC Series는 H2O와 O2의 산화 방지를 위해 플라즈마 처리된 cover-glass와 유기-재료의 코팅 기판 캡슐에 의해 OLED의 생산 공정에..
OLED Module 공정 설비로서, Flexible Glass의 PAD/COF/FPC를 후면으로 Bending 후 부착하는 설비