R&D
연구내용
Display R&D (LCD/OLED)
- 대면적 TFT Sputter
- CF Sputter
- 박막 Encapsulation
- Oxide TFT Sputter
- 산화물 TFT 소자 검사 장비
- Semiconductor R&D
- WLP(wafer level package), PLP(panel level package)용 Sputter
- Energy R&D
- 동위원소 전지
- 전고체 이차전지
Solar Cell R&D
- CIGS Solar Cell
- Back Electrode(Mo), Diffusion Barrier(SiO2), CIG Precursor, Window(ITO, AZO) 증착용 Sputter
- CIGS 광흡수층 열처리용 NFS(Nozzle Free Se Shower) RTP
- 건식 Buffer((Zn(O,S), ZnS, Cd(Zn,S)) 증착용 ALD
- Window(BZO) 증착용 MOCVD
- Crystalline-Si Solar Cell
- Passivation
기타 R&D
- 해석
- 구조 해석
- 열, 유동 해석
- 전자기장, Plasma 해석
- 반도체
- Etching Uniformity 향상 기술
- Particle 제어 기술
- 기타 산업용 증착기
- 고속, 고효율 증착기
- Damage Free 증착기